特徴
- 最高精度0.01µm、平面から最大傾斜75度まで測定可能。
- 測定範囲は、2µmの微細部から最大範囲400mm
超高精度三次元測定機
超高精度三次元測定機 UA3P
さまざまな微細形状測定で、ナノ精度でのものづくりをサポートします
測定対象
- カメラ用（DSC）非球面レンズ
- スマホ用レンズ
- DVD、BDレンズ
- 自由曲面ミラー ／他
主要スペック
- 測定精度 ： 10～50nm
- 最小測定力 ： 0.15mN
- 測定範囲 ： 30×30×20mm
- 最大測定速度 ： 5mm/s
- 測定最大角度 ： 75度
超精密表面形状粗さ測定器
超精密表面形状粗さ測定器
Taylor Hobson フォームタリサーフLaser635
小型および中型の非球面光学部品測定用の高性能仕様測定システムです。高精度を要求されるレンズの測定に最適化されています。
干渉計
球面測定用レーザー干渉計
測定対象：球面・透過波面
口径（mm）：φ60
用途：レンズ、金型などの球面精度・曲率半径（R）測定